研究設備トピックス


集束イオンビーム加工・観察装置
導入時期:
概 要:
日立製FB-2000A集束イオンビーム加工・観察装置.集束したガリウムイオンビビームによる走査で,ナノスケールの試料観察と加工が可能.主に透過型電子顕微鏡の試料作成に用いられる.観察視野中の任意の位置から,TEM観察用薄膜試片の切り出しが可能である
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