研究設備トピックス


環境制御型3次元微細構造解析システム(3D-SEM)
導入時期:
平成14年 3月
概 要:
電子線3次元粗さ解析装置 倍率 : x300,000, 分解能 : 3.5 nm (Z方向 1.0 nm)
問合せ先:
           



 
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