研究設備トピックス


3次元微細組織解析装置
導入時期:
平成25年 9月
概 要:
日立ハイテクテクノロジーズ製NB-5000 (FIB/FE-SEM)にTSL製EBSDを付属.FIB加工により所望の断面組織を形成し,FE-SEM像、EBSD像を取得可能,3次元SEM像の取得は自動,3次元EBSD像は手動.試験片サイズに制約あり.
問合せ先:
           



 
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