研究業績

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[エネルギー変換機構学分野]分野指定

雑誌掲載論文

表 題 研究業績概要 氏 名
The effect of the H2/(H2+Ar) flow-rate ratio on hydrogenated amorphous carbon films grown using Ar/H2/C7H8 plasma chemical vapor deposition   Thin Solid Films,660,8(2018),891-898 T. Fang
K. Yamaki
K. Koga
D. Yamashita
H. Seo
N. Itagaki
M. Shiratani
K. Takenaka
Y. Setsuhara
Plasma-enhanced reactive linear sputtering source for formation of silicon-based thin films   Review of Scientific Instruments,89,8(2018),083902/1-083902/6 K. Takenaka
Y. Setsuhara
J. G. Han
G. Uchida
A. Ebe
Effect of a plasma-activated medium produced by direct irradiation on cancer cell killing   Japanese Journal of Applied Physics,57,9(2018),096201-1-096201-6 G. Uchida
T. Ito
J. Ikeda
T. Suzkuki
K. Takenaka
Y. Setsuhara
Fabrication of high-performance InGaZnOx thin film transistors based on control of oxidation using a low-temperature plasma   Applied Physics Letters,112,15(2018),152103/1-152103/3 K. Takenaka
M. Endo
G. Uchida
Y. Setsuhara
Low-temperature formation of c-axis orientated aluminum nitride thin films with plasma-assisted reactive pulsed-DC magnetron sputtering   Japanese Journal of Applied Physics,57,(2017),01AD06-1-01AD06-5 Kosuke Takenaka
Yoshikatsu Satake
Giichiro Uchida
Yuichi Setsuhara
Selective production of reactive oxygen and nitrogen species in the plasma treated water by using a nonthermal high-frequency plasma jet   Japanese Journal of Applied Physics,57,1(2017),0102B4-1-0102B4-6 G. Uchida
K. Takenaka
K. Takeda
K. Ishikawa
M. Hori
Y. Setsuhara

国際会議発表,国内学会発表

表 題 研究業績概要 氏 名
プラズマ誘起流のPIV法による定量解析-酸素添加の影響- 平成30年度(第71回)電気・情報関係学会九州支部連合大会,大分大学 旦野原キャンパス,(2018.09.27-2018.09.28), 間 結夏
川口 諒
西田 佳祐
内田 儀一郎
竹中 弘祐
古閑 一憲
節原 裕一
白谷 正治
川崎 敏之
プラズマ誘起流のPIV法による定量解析-照射距離が与える影響- 平成30年度(第71回)電気・情報関係学会九州支部連合大会,大分大学 旦野原キャンパス,(2018.09.27-2018.09.28), 川口 諒
西田 佳祐
間 結夏
内田 儀一郎
竹中 弘祐
古閑 一憲
節原 裕一
白谷 正治
川崎 敏之
プラズマ誘起流のPIV法による定量解析-水質の影響- 平成30年度(第71回)電気・情報関係学会九州支部連合大会,大分大学 旦野原キャンパス,(2018.09.27-2018.09.28), 西田 佳祐
川口 諒
間 結夏
内田 儀一郎
竹中 弘祐
古閑 一憲
節原 裕一
白谷 正治
川崎 敏之
Development of functionalization techniques of organic material surfaces for functional materials 3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3) ,Tokyo Garden Palace, Tokyo, Japan,(2018.09.25), Yuichi Setsuhara
Kosuke Takenaka
Giichiro Uchida
Development of low-temperature plasma process for formation of functional thin films 3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3) ,Tokyo Garden Palace, Tokyo, Japan,(2018.09.25), Yuichi Setsuhara
Kosuke Takenaka
Giichiro Uchida
Keisuke Ide
Toshio Kamiya
Device characteristics of rare-earth doped amorphous oxide semiconductors 3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3) ,Tokyo Garden Palace, Tokyo, Japan,(2018.09.25), Toshio Kamiya
Kosuke Ide
Kosuke Takenaka
Yuichi Setsuhara
Atsushi Hiraiwa
H. Kawarada
Takayoshi Katase
Hidenori Hiramatsu
Hideo Hosono
Effects of base pressure on optoelectronic properties of amorphous In-Ga-Zn-O 3nd International Symposium on Creation of Life Innovation Materials for Interdisciplinary and International Researcher Development (iLIM-3) ,Tokyo Garden Palace, Tokyo, Japan,(2018.09.25), Keisuke Ide
Kosuke Takenaka
Yuichi Setsuhara
Atsushi Hiraiwa
Hiroshi Kawarada
Takayoshi Katase
Hidenori Hiramatsu
Hideo Hosono
Toshio Kamiya
プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成(III) 第79回応用物理学会秋季学術講演会,名古屋国際会議場、愛知,(2018.09.18-2018.09.21), 竹中 弘祐
遠藤 雅
吉谷 友希
内田 儀一郎
節原 裕一
様々なプラズマ照射条件で作製されたプラズマ活性培養液のがん細胞殺傷効果 第79回応用物理学会秋季学術講演会,名古屋国際会議場、愛知,(2018.09.18-2018.09.21), 内田 儀一郎
池田 純一郎
鈴木 天翔
竹中 弘祐
節原 裕一
ICP-Assisted Reactive Sputter Deposition and Plasma-Enhanced Annealing Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility In-Ga-Zn-O Thin-Film Transistors 16th International Conference on Plasma Surface Engineering,Congress Center, Garmisch-Partenkirchen, Germany,(2018.09.17-2018.09.21), Yuichi Setsuhara
Kosuke Takenaka
Masashi Endo
Giichiro Uchida
Akinori Ebe
プラズマジェット照射が誘起する液体流に雰囲気ガスが与える影響 第42回静電気学会全国大会,東京工業大学大岡山キャンパス,(2018.09.13-2018.09.14), 川崎 敏之
川口 諒
西田 佳祐
間 結夏
内田 儀一郎
竹中 弘祐
古閑 一憲
節原 裕一
白谷 正治
プラズマ支援反応性パルスDCスパッタリングによるC軸配向窒化アルミニウム薄膜の形成 第65回応用物理学会春季学術講演会,,(2018.03.17-2018.03.20), 竹中 弘祐
吉谷 友希
内田 儀一郎
節原 裕一
プラズマ支援反応性プロセスを用いた高移動度IGZO薄膜の低温形成 第65回応用物理学会春季学術講演会,,(2018.03.17-2018.03.20), 節原 裕一
遠藤 雅
竹中 弘祐
内田 儀一郎
江部 明憲
非平衡プラズマジェットと水溶液中アミノ酸との相互作用に関する研究 第65回応用物理学会春季学術講演会,,(2018.03.17-2018.03.20), 内田 儀一郎
美濃 祐資
鈴木 天翔
竹中 弘祐
節原 裕一
Analysis of amino acids in plasma-activated water with mass spectrometer 10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018) / 11th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2018),Meijo University, Nagoya, Japan,(2018.03.04-2018.03.08), Giichiro Uchida
Yusuke Mino
Tensho Suzuki
Kosuke Takenaka
Yuichi Setsuhara
Low-temperature fabrication of high-performance IGZO thin film transistor using plasma-assisted reactive processes 10th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018) / 11th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2018),Meijo University, Nagoya, Japan,(2018.03.04-2018.03.08), Kosuke Takenaka
Masashi Endo
Tomoki Yoshitani
Giichiro Uchida
Yuichi Setsuhara
Akinori Ebe
機能性材料創成に向けたプラズマプロセス 第26回 プラズマ医療 サイエンスの扉/第26回 サイエンスカフェ-プラズマ医療-,名古屋大学,(2017.12.15), 竹中 弘祐
Development of a 60 MHz nonthermal plasma jet and selective production of reactive oxygen and nitrogen species in the plasma treated water 第27回日本MRS年次大会,横浜市開港記念館 他,(2017.12.05-2017.12.07), Giichiro Uchida
Yusuke Mino
Tensho Suzuki
Kosuke Takenaka
Yuichi Setsuhara
Development of plasma-assisted reactive sputtering processes for functional thin films formation 第27回日本MRS年次大会,横浜市開港記念館 他,(2017.12.05-2017.12.07), Kosuke Takenaka
Yoshiki Yoshitani
Giichiro Uchida
Yuichi Setsuhara
Fabrication of High Mobility IGZO Thin Film Transistor at Low Temperature using Plasma-assisted Reactive Processes 第27回日本MRS年次大会,横浜市開港記念館 他,(2017.12.05-2017.12.07), Masashi Endo
Kosuke Takenaka
Giichiro Uchida
Yuichi Setsuhara
Akinori Ebe
Oxidation and decomposition of amino acids in water induced by plasma irradiation 第27回日本MRS年次大会,横浜市開港記念館 他,(2017.12.05-2017.12.07), Yusuke Mino
Giichiro Uchida
Tensho Suzuki
Kosuke Takenaka
Yuichi Setsuhara
非平衡プラズマジェット照射溶液中のアミノ酸成分に関する液体クロマトグラフ質量分析 Plasma Conference 2017,姫路商工会議所,(2017.11.21-2017.11.24), 内田 儀一郎
美濃 祐資
竹中 弘祐
節原 裕一
誘導結合プラズマ支援反応性DCパルススパッタリングを用いた窒化アルミニウム薄膜の堆積 Plasma Conference 2017,姫路商工会議所,(2017.11.21-2017.11.24), 竹中 弘祐
内田 儀一郎
節原 裕一
Formation of c-axis Orientated AlN Films Using ICP-enhanced Reactive DC-pulsed Sputtering 39th International Symposium on Dry Process (DPS2017),Tokyo, Japan,(2017.11.16-2017.11.17), Kosuke Takenaka
Yoshikatsu Satake
Giichiro Uchida
Yuichi Setsuhara
Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistors Using ICP-Enhanced Reactive Plasma Processes 39th International Symposium on Dry Process (DPS2017),Tokyo, Japan,(2017.11.16-2017.11.17), Yuichi Setsuhara
Masashi Endo
Kosuke Takenaka
Giichiro Uchida
Akinori Ebe

講演

表 題 研究業績概要 氏 名
低ダメージ大面積プロセス対応プラズマ生成・制御技術の開発 2018年度フロンティア材料研究所学術賞受賞記念講演会・若手教員講演会,東京,(2018.09.04) 節原 裕一
大気圧プラズマプロセスの最前線-異材接合から医療応用まで- 第22回電子デバイス実装研究委員会,東京,(2018.07.02) 内田 儀一郎
竹中 弘祐
節原 裕一
プラズマ支援反応性プロセスを用いた高移動度IGZO薄膜の低温形成 第65回応用物理学会春季学術講演会,東京,(2018.03.18-2018.03.21) 節原 裕一
遠藤 雅
竹中 弘祐
内田 儀一郎
江部 明憲
ダストプラズマプロセスの開発とエネルギーデバイスへの応用展開 第33回先端プラズマ技術研究会,名古屋,(2018.02.16) 内田 儀一郎
Plasma-Enhanced Reactive Processes for Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Film Transistor and Functional Films for Solar Cells 5th Japan-Korea Joint Symposium on Advanced Solar Cells 2018 and 2nd International Symposium on Energy Research and Application,Suwon,Korea,(2018.02.05-2018.02.06) Yuichi Setsuhara
Masashi Endo
Kosuke Takenaka
Giichiro Uchida
Akinori Ebe
機能性材料創成に向けたプラズマプロセス 第26回 プラズマ医療 サイエンスの扉/第26回 サイエンスカフェ-プラズマ医療-,名古屋,(2017.12.15) 竹中 弘祐
Development of a 60 MHz non-thermal plasma jet and selective production of reactive oxygen and nitrogen species in the plasma treated water 27th Annual Meeting of MRS-Japan 2017 International Symposium "Frontier of nano-materials based on advanced plasma technologies"
,Yokohama, Japan,(2017.12.05-2017.12.07)
G. Uchida
Y. Mino
T. Suzuki
K. Takenaka
Y. Setsuhara
反応性ダストプラズマプロセスの開発とナノ粒子デバイスへの応用 PLASMA2017 Workshop プラズマによるナノ材料・ナノデバイス創成の深化,姫路,(2017.11.20) 内田 儀一郎

著書

表 題 研究業績概要 氏 名
Plasma Medical Science Elsevier,(2018),分担執筆,17-25 Yuichi Setsuhara
Giichiro Uchida
Kosuke Tekenaka

受賞

賞 名 主催団体 氏 名
フロンティア材料研究所学術賞 フロンティア材料研究所 節原 裕一
 
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