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表　題	掲載誌	著　者
Contribution of active species generated in plasma to CO2 methanation	Japanese Journal of Applied Physics,62,(2023),SL1023	Susumu Toko Taiki Haseagawa Takamasa Okumura Kunihiro Kamataki Kosuke Takenaka Kazunori Koga Masaharu Shiratani Yuichi Setsuhara
Improving the efficiency of Sabatier reaction through H2O removal with low-pressure plasma catalysis	Japanese Journal of Applied Physics,62,(2023),SL1028	Susumu Toko Taiki Haseagawa Takamasa Okumura Kunihiro Kamataki Kosuke Takenaka Kazunori Koga Masaharu Shiratani Yuichi Setsuhara
Optical emission spectroscopy study in CO2 methanation with plasma	Japanese Journal of Applied Physics,62,(2023),SI1003	Susumu Toko Taiki Haseagawa Takamasa Okumura Kunihiro Kamataki Kosuke Takenaka Kazunori Koga Masaharu Shiratani Yuichi Setsuhara
Plasma processing technique by combination of plasma-assisted reactive sputtering and plasma annealing for uniform electrical characteristics of InGaZnO thin film transistors formed on large-area substrates	Japanese Journal of Applied Physics,62,(2023),SI1005/1-SI1005/9	Kosuke Takenaka Tomoki Yoshitani Masashi Endo Hiroyuki Hirayama Susumu Toko Giichiro Uchida Akinori Ebe Yuichi Setsuhara

表　題	会議・大会	発表者
プラズマを用いた CO2 の水素還元における選択性の制御	2023年度第84回応用物理学会秋季学術講演会,オンライン,(2023.09.22),	都甲　将 奥村　賢直 鎌滝　邦弘 竹中　弘祐 古閑　一憲 白谷　正治 節原　裕一
プラズマ支援反応性スパッタリングによるアモルファス酸化ガリウム薄膜形成	2023年第70回応用物理学会春季学術講演会,上智大学四谷キャンパス＋オンライン,(2023.03.15-2023.03.18),	竹中　弘祐 小松　響 藤村　知輝 都甲　将 井手　啓介 江部　明憲 神谷　利夫 節原　裕一
大気圧非平衡プラズマジェットを用いた有機材料－金属異材接合技術の開発	2023年第70回応用物理学会春季学術講演会,上智大学四谷キャンパス＋オンライン,(2023.03.15-2023.03.18),	竹中　弘祐 中本　壮太郞 小鑓　亮輔 都甲　将 内田　儀一郎 節原　裕一
Droplet-Vaporization Behavior Analysis in Plasma for Fabrication of 3D Nanostructured Zinc Oxide Thin Films by Plasma-assisted Mist CVD	15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2023) / 16th International Conference on Plasma Nano Technology & Science(IC-PLANTS 2023),Gifu University, Gifu, Japan,(2023.03.05-2023.03.09),	Kosuke Takenaka Susumu Toko Yuichi Setsuhara
プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーション	2022年度第3回表面改質技術研究委員会,オンライン,(2023.02.22),	都甲　将 奥村　賢直 鎌滝　邦弘 竹中　弘祐 古閑　一憲 白谷　正治 節原　裕一
Development of Plasma Assisted Reactive Process for Uniform Formation of High Mobility Oxide Semiconductor Thin Film Transistors over Large Areas	7th International Conference on Advances in Functional Materials (AFM2022),Centennial Hall of Kyushu University. Kyushu, Japan,(2023.01.09-2023.01.12),	Kosuke Takenaka Tomoki Yoshitani Susumu Toko Giichiro Uchida Akinori Ebe Yuichi Setsuhara
Estimation of the excited CO density in plasma contributing to CO2 methanation by optical emission spectroscopy	AFM2023,福岡県福岡市 九大医学部 百年記念講堂,(2023.01.09-2023.01.12),	S. Toko T. Hasegawa T. Okumura K. Kamataki K. Takenaka K. Koga M. Shiratani Y. Setsuhara
The effect of plasma off time on CO2 methanation using pulsed discharge plasma	AFM2023,福岡県福岡市 九大医学部 百年記念講堂,(2023.01.09-2023.01.12),	T. Hasegawa D. Yamashita S. Toko K. Kamataki K. Koga M. Shiratani
Effects of water absorbent materials on CO2 methanation using plasma catalyst	MRS-J 2022,相模原,(2022.12.05-2022.12.07),	T. Hasegawa D. Yamashita S. Toko K. Kamataki K. Koga M. Shiratani
Improvement of energy efficiency for CO2 decomposition using molecular capture catalysts	第32回日本MRS年次大会 (MRS-J2021),産業貿易センター（横浜）,(2022.12.05-2022.12.07),	Susumu Toko Taiki Hasegawa Takamasa Okumura Kunihiro Kamataki Kosuke Takenaka Kazunori Koga Masaharu Shiratani Yuichi Setsuhara
Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis	MRS-J 2022,神奈川県横浜市 産業貿易センタービル,(2022.12.05-2022.12.07),	S. Toko T. Hasegawa T. Okumura K. Kamataki K. Takenaka K. Koga M. Shiratani Y. Setsuhara
Development of Plasma-Assisted Reactive Process for Large-Area Uniform Formation of High Mobility IGZO Thin-Film Transistors	The 43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022),Osaka International Convention Center, (Osaka, Japan) & Online,(2022.11.24-2022.11.25),	K. Takenaka T. Yoshitani G. Uchida A. Ebe Y. Setsuhara
Effect of H2O capture in methanation with plasma catalysis	DPS2022,オンライン,(2022.11.24-2022.11.25),	S. Toko T. Hasegawa T. Okumura K. Kamataki K. Takenaka K. Koga M. Shiratani Y. Setsuhara
プラズマ支援反応性プロセスを用いた機能性薄膜の低温形成	第38回九州・山口プラズマ研究会,指宿白水館,(2022.11.07-2022.11.08),	竹中　弘祐 都甲　将 内田　儀一郎 江部　明徳 節原　裕一
プラズマ触媒作用によるメタネーションにおけるH2O吸着の効果	第38回九州山口プラズマ研究会,鹿児島県指宿市　指宿白水館,(2022.11.06-2022.11.07),	S. Toko T. Hasegawa T. Okumura K. Kamataki K. Takenaka K. Koga M. Shiratani Y. Setsuhara
Development Plasma Processing Technology for Low-temperature Formation of High Quality Functional Thin Films	The 6th International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2022) & The 2nd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-2) ,Senri Life Science Center, Osaka, Japan,(2022.10.25-2022.10.26),	Yuichi Setsuhara Kosuke Takenaka Susumu Toko Keisuke Ide Toshio Kamiya
Development of Virus Inactivation Technology with Integration of Atmospheric Pressure and Low Temperature Plasma Generation Control and Environmental Catalyst Technology	The 6th International Symposium on Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation (Visual-JW2022) & The 2nd International Symposium on Design & Engineering by Joint Inverse Innovation for Materials Architecture (DEJI2MA-2) ,Senri Life Science Center, Osaka, Japan,(2022.10.25-2022.10.26),	Yuichi Setsuhara Kosuke Takenaka Susumu Toko Masatomo Hattori
Low-Temperature Formation of High-Mobility IGZO Thin Films Transistors Fabricated with Plasma-Assisted Reactive Processes	11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)/2022 Gaseous Electronics Conference (GEC 2022)/40th Symposium on Plasma Processing (SPP-40)/35th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM35),Sendai International Center, Sendai, Japan ,(2022.10.03-2022.10.07),	Yuichi Setsuhara Hibiki Komatsu Susumu Toko Kosuke Takenaka Akinori Ebe
Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis	11th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-11)/2022 Gaseous Electronics Conference (GEC 2022)/40th Symposium on Plasma Processing (SPP-40)/35th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM35),Sendai International Center, Sendai, Japan ,(2022.10.03-2022.10.07),	S. Toko T. Haseagawa T. Okumura K. Kamataki K. Takenaka K. Koga M. Shiratani Y. Setsuhara
Relationship between vibrational temperature and CO2 methanation with plasma catalysis	11th International Conference on Reactive Plasmas/ 2022 Gaseous Electronics Conference/ 40 th Symposium on Plasma Processing/ 35th Symposium on Plasma Science for Materials,オンライン,(2022.10.03),	S. Toko T. Hasegawa T. Okumura K. Kamataki K. Takenaka K. Koga M. Shiratani Y. Setsuhara

表　題	会議・講演会	講演者
プラズマ触媒作用を用いたCO2メタネーション	2022年度第3回表面改質技術研究委員会,オンライン開催,(2023.02.22)	都甲　将 奥村　賢直 鎌滝　晋礼 竹中　弘祐 古閑　一憲 白谷　正治 節原　裕一
Low-temperature formation of functional oxide materials with plasma-assisted reactive processes	第32回日本MRS年次大会 (MRS-J2021),産業貿易センター（横浜）,(2022.12.05)	K. Takenaka S. Toko Y. Setsuhara

賞　名	授与機関	受賞者
第20回(2022年秋季) 応用物理学会 Poster Award	応用物理学会	竹中　弘祐 都甲　将 節原　裕一