マルチ低インダクタンスアンテナを用いた大口径プラズマ発生装置

    

 

大容積プラズマ発生装置

    

　

プラズマプロセス解析装置

    

　

原子間力顕微鏡(AFM)

    

　

  フーリエ変換型赤外吸収分光装置(FT-IR)

    

　

  接合科学研究所 共通設備

      　走査型オージェ電子分光分析装置

　　　触針式表面形状測定装置

　　　環境制御型３次元微細構造解析システム（3D-SEM）

　　　環境制御型３次元微細構造解析システム（ESEM）

　　　微小部Ｘ線回折装置

　　　自動Ｘ線マイクロアナライザシステム（EPMA）

　　　真空蒸着装置（カーボン蒸着）

　　　イオンスパッタリング装置（金蒸着）

　　　イオンビーム複合機能材創製装置

　　　走査型電子顕微鏡