研究テーマ

1. プラズマー材料相互作用の解明と先進的な表界面制御プロセスの研究

2. 新しいプラズマ源、粒子ビーム源の開発と高度プロセス技術（CVD、PVD）の研究

3. 大面積・低ダメージ・高密度プラズマ源の開発と先進的プロセス制御技術の開発

4．高品質酸化物半導体薄膜ならびにデバイスの低温形成に関する研究

5．大気圧非平衡プラズマを用いた有機−金属異種材料接合技術の開発

6．脱炭素社会の実現に向けた先進的プラズマ触媒反応系の開発　

有機物とプラズマとの相互作用の解明 (SPring-8 硬X線光電子分光法)

　　　　　　　　　　　　　　　　　

　

参加プロジェクト

１．大阪大学接合科学研究所、東北大学金属材料研究所、東京工業大学応用セラミックス研究所、

　　名古屋大学エコトピア科学研究所、早稲田大学ナノ理工学研究機構、

　　東京医科歯科大学生体材料工学研究所 6大学連携プロジェクト　（２０２１年度−２０２７年度)

　　「国際・産学連携インヴァースイノベーション材料創出プロジェクト」

過去に参加したプロジェクト

１．大阪大学接合科学研究所、東北大学金属材料研究所、東京工業大学応用セラミックス研究所、
　　名古屋大学エコトピア科学研究所、早稲田大学ナノ理工学研究機構、
　　東京医科歯科大学生体材料工学研究所 6大学連携プロジェクト　（２０１１年度−２０１５年度)

　　「学際・国際的高度人材育成ライフイノベーションマテリアル創製共同研究プロジェクト拠点」

２．文部科学省　科学研究費補助金　新学術領域研究（研究領域提案型）　(２０１２年度−２０１６年度)

「プラズマ医療科学の創成」

３．大阪大学接合科学研究所、東北大学金属材料研究所、東京工業大学応用セラミックス研究所、
　　名古屋大学エコトピア科学研究所、早稲田大学ナノ理工学研究機構、
　　東京医科歯科大学生体材料工学研究所 6大学連携プロジェクト　（２０１１年度−２０１５年度)

　　「特異構造金属・無機融合高機能材料開発プロジェクト拠点」

４．グローバルCOEプログラム　（２００７年度−２０１２年度)

　 「構造・機能先進材料デザイン教育研究拠点」

５．戦略的創造研究推進事業CREST　(２００７年度−２０１１年度)

　 「ナノ科学を基盤とした革新的製造技術の創成」

　　〜プラズマナノ科学創成によるプロセスナビゲーション構築とソフト材料加工〜

６．東北大金属材料研究所，東京工業大応用セラミックス研究所，大阪大接合科学研究所連携プロジェクト　（２００５年度−２０１０年度)

　　「金属ガラス・無機材料接合技術開発拠点」

７．文部科学省　特定領域研究　(２００６年度−２００９年度)

「シリコンナノエレクトロニクスの新展開−ポストスケーリングテクノロジー」