大阪大学接合科学研究所 接合プロセス研究部門
エネルギー変換機構学分野 節原研究室

(工学研究科マテリアル生産科学専攻マテリアル科学コース協力講座)

−最新トピックス−

        2017/04/18 メンバーを更新

説明: 説明: C:\お仕事\研究室HP\11_04_13UP\plasma.jpg説明: 説明: C:\お仕事\研究室HP\11_04_13UP\SP8.jpg説明: 説明: C:\お仕事\研究室HP\11_04_13UP\SP8_2.jpg

     

研究概要

 材料加工プロセスにおける加工エネルギー源(プラズマ、粒子ビーム)と材料との相互作用機序ならびにエネルギー変換付与機構を基軸に据えて、材料表界面の高機能化と高度制御に向けた基礎学理を追求するとともに、先進的な加工エネルギー源ならびにプロセス制御法の創成と診断評価を通じて、接合科学の高度化に資する基礎研究および応用技術開発を行っている。

 特に、独自のプラズマ生成制御技術を活用して、メートル級の超大面積プラズマ源の開発ならびに機能性材料の低温かつ低ダメージでの高品位プロセスの実現に資する先進的な表界面制御プロセスの開発に関する研究を展開している。

 さらに、放電の高度時空間制御ならびに生体分子との相互作用の解明に基づく系統的研究により、生体適合性に優れた革新的医療用プラズマ源の開拓に向けた研究を展開している。

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◎修士・博士課程の学生募集中!!

 節原研究室では修士・博士課程の学生を募集しています.  

 プラズマに詳しい方も,そうでない方も,ぜひ一度研究室見学にお越しください.

   修士論文テーマ 

    2016年度

    ・プラズマ支援反応性スパッタリング法による窒化物薄膜の低温形成に関する研究

    ・大気圧非平衡プラズマジェットによる液中活性種生成制御に関する研究

    2015年度

    ・プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いた透明酸化物半導体薄膜形成におけるプロセス制御に関する研究

    ・活性種制御大気圧非平衡プラズマ源の開発に向けた気液界面での動的挙動解析

        2014年度

    ・プラズマ支援反応性スパッタリング法による酸化物半導体薄膜トランジスタの低温形成に向けたプロセス制御に関する研究

    ・大気圧誘電体バリア放電プラズマジェットの放電特性と動的挙動に関する研究

    2013年度

    ・プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いたデバイス用薄膜形成プロセスの制御に関する研究

    ・大気圧放電プラズマの生成と有機材料との相互作用に関する研究

    2012年度

    ・プラズマ支援反応性スパッタリング法による酸化物半導体薄膜トランジスタの低温形成に関する研究

    ・プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いたシリコン系薄膜形成におけるプロセス制御と長尺化に関する研究

    2011年度

    ・プラズマ支援反応性スパッタリング法による透明酸化物半導体薄膜の低温形成プロセスに関する研究

    2010年度

    ・高密度プラズマを用いた酸化亜鉛薄膜の低温形成に関する研究

    2009年度

    ・高密度プラズマ支援反応性物理蒸着法によるシリコン薄膜形成プロセスに関する研究

    2008年度

    ・有機無機ハイブリッド材の先進加工プロセスに向けたプラズマとポリマーとの相互作用に関する基礎研究

    ・高周波誘導結合型ミスト混合プラズマを用いたナノ粒子製膜

    ・液中ならびに気液界面でのプラズマ生成法の開発

    2007年度

    ・大面積ハイブリッドプラズマスパッタ製膜法ならびにプロセス解析手法の開発

    ・マルチ低インダクタンスアンテナを用いた大口径誘導結合型プラズマの特性評価  

 

  ※研究室見学は随時受け付けておりますので,下記までご連絡ください.

 

 

◎連絡先

 大阪大学接合科学研究所加工システム研究部門
 エネルギー変換機構学分野 節原研究室

 所在地
 567-0047 大阪府茨木市美穂が丘111号 大阪大学接合科学研究所

 電話/FAX
 06-6879-8641/06-6879-8641 (節原教授室:実験研究棟406号室)

 

 

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