Technical Expert Division
大阪大学接合科学研究所技術部
Joining and Welding Research Institute Osaka University

共通設備>表面・界面プロセシング装置


●表面・界面プロセシング装置ご利用に際しまして

イオンビーム複合機能材創製装置

型     式 E93-0674
メーカー 日新イオン機器
設置場所 共通研究棟 107号室
担 当 者
植原 邦佳、塔本 健次
仕     様 成膜速度1000Å/min以上(管理はエネルギー変換機構学分野)