学会発表

学会発表
2000年

「28GHzミリ波加熱法による希土類酸化物添加窒化ケイ素の焼結」
上野敏之、斉藤英純、佐野三郎、巻野勇喜雄、三宅正司
金属学会、春期講演大会（2000）

「非晶質鉛珪酸塩スラグの化学状態と非共有性塩基度の関連について」
巻野勇喜雄、三宅正司
金属学会、春期講演大会（2000）

「PLD法による（Cr,Al）N薄膜の合成」
鈴木常生、平井　誠、上野靖博、江　偉華、巻野勇喜雄、八井　浄
金属学会、春期講演大会（2000）

「低インダクタンス内部アンテナを用いた大口径ＲＦプラズマ生成」
節原裕一、高木義幸、三宅正司、坂和洋一、庄司多津男
第47回応用物理学関係連合講演会、(2000)

「ヘリコン波励起型反応性高密度プラズマスパッタリングによる超硬質窒化物薄膜合成（２）」
高木義幸、節原裕一、三宅正司、熊谷正夫、坂和洋一、庄司多津男
第47回応用物理学関係連合講演会、(2000)

「簡易電子論による硬質材料の構造制御について」
巻野勇喜雄、三宅正司
高温学会、春季総合学術講演会、(2000.5.15)

「Hardness Enhancement of Nanocomposite Coatings Synthesized by IBAD」
志水一平、何建立、節原裕一、三宅正司
高温学会、春季総合学術講演会、(2000.5.15)

「大出力２８GHzミリ波加熱法による高純度アルミナの焼結」
巻野勇喜雄、三宅正司、佐野三郎、斉藤英純、姜　文圭
金属学会、秋期大会、(2000.10.2)

「クロミア添加アルミナのミリ波焼結法における「非熱的効果」」
上野敏之、佐野三郎、斉藤英純、巻野勇喜雄、三宅正司
金属学会、秋期大会、(2000.10.2)

「パルスレーザーアブレーション法で作製した（Cr,Al）N薄膜の特性」
平井　誠、浅見　悟、鈴木常生、江　偉華、八井　浄、巻野勇喜雄
金属学会、秋期大会、(2000.10.2)

「硼素－炭素ー窒素系化合物におけるイオンビーム誘起相変換」
板垣　肇、節原裕一、高橋　誠、池内建二、三宅正司、坂田孝夫、森　博太郎
金属学会、秋期大会、(2000.10.2)

「大出力２８GHzミリ波加熱法による窒化珪素の焼結」
巻野勇喜雄、上野敏之、三宅正司、佐野三郎、斎藤英純
粉体粉末冶金協会、秋季大会、(2000)

「大出力２８GHzミリ波加熱法によるアルミナの焼結」
巻野勇喜雄、三宅正司、佐野三郎、斎藤英純
粉体粉末冶金協会、秋季大会、(2000)

「Y2O3添加AlNのミリ波帯電磁波焼結」
松本　武、巻野勇喜雄、三宅正司
希土類学会、(2000)

「ミリ波焼結窒化ケイ素におけるYb2O3系助剤の役割」
上野敏之、佐野三郎、斎藤英純、巻野勇喜雄、三宅正司
希土類学会、(2000)

「クロムイオンの光学吸収から見たアルミナの焼結におけるミリ波効果」
上野敏之、巻野勇喜雄、三宅正司、佐野三郎、斎藤英純
高温学会、秋季総合学術講演会、(2000.11.30)

「低インダクタンス内部アンテナを用いた大口径ＲＦプラズマ生成（２）」
節原裕一、高木義幸、三宅正司、坂和洋一、庄司多津男
第61回応用物理学会学術講演会、(2000.9)

「真空容器内蔵型ヘリコン波励起反応性高密度プラズマスパッタ装置の開発」
高木義幸、節原裕一、三宅正司、坂和洋一、庄司多津男、熊谷正夫
第61回応用物理学会秋季学術講演会、(2000.9)

2001年

「スパッタ薄膜作製へのECRプラズマ応用」
三宅正司
電気学会、（2001.3.23）

「ミラー閉じ込め型ECRプラズマスパッタリングによる結晶性SrTiO3薄膜の低温合成」
馬場創、沼田乾、三宅正司
春季第48回応用物理学関係連合講演会、(2001.3.29)

「単一ギャップモデルによる化合物の体積弾性率の評価」
巻野勇喜雄、三宅正司
高温学会春季総合学術講演会（2001.5.21）

「ミリ波加熱法を用いたAlN焼結体作製における助剤の比較」
吉岡尚志、巻野勇喜雄、三宅正司
高温学会春季総合学術講演会（2001.5.21）

「イオンビーム支援蒸着法によるHfO2薄膜の合成」
森崇徳、三宅正司、志水一平
高温学会春季総合学術講演会（2001.5.21）

「温度分布と曲がり角の関係高出力半導体レーザによる厚鋼板のフォーミング(第2報)」
中川直樹、阿部信行、塚本雅裕、三宅正司、野口修一
高温学会春季総合学術講演会（2001.5.21）

「体積弾性率から評価した希土類酸化物の結合特性」
巻野勇喜雄、三宅正司
希土類学会　春（2001）

「大電流パルス通電法によるアナターゼ固化体の作製」
巻野勇喜雄、江口久剛、姜文圭、斎藤英純、森崇徳、三宅正司
粉体粉末冶金協会春季大会、(2001.5.22)

「28GHzミリ波帯電磁波加熱によるアナターゼ固化体の作製」
巻野勇喜雄、吉岡尚志、三宅正司、姜文圭、斎藤英純
粉体粉末冶金協会春季大会、(2001.5.22)

「クロムイオンの光吸収を用いた28GHzミリ波加熱アルミナの拡散挙動」
上野敏之、佐野三郎、巻野勇喜雄、三宅正司
粉体粉末冶金協会春季大会、(2001.5.22)

「イオンビーム支援蒸着法によるHfO2薄膜の合成および構造制御」
森崇徳、藤原誠、志水一平、R.R.Manory、田中武雄、三宅正司
第62回応用物理学会秋季学術講演会、(2001.9.11)

「ミリ波加熱による高純度アルミナの焼結特性」
三宅正司、佐野三郎、斎藤英純、姜文圭
粉体粉末冶金協会秋季大会、（2001.11.1）

「イッテルビア助剤添加による窒化アルミニウムの低温ミリ波焼結」
吉岡尚志、三宅正司、巻野勇喜雄
粉体粉末冶金協会秋季大会、（2001.11.1）

「Yb2O3-Al2O3系助剤添加窒化珪素のミリ波焼結特性」
上野敏之、佐野三郎、斎藤英純、巻野勇喜雄、三宅正司
粉体粉末冶金協会秋季大会、（2001.11.1）

「マイクロ波焼結機構Meekモデルの検証」
佐治他三郎、巻野勇喜雄、三宅正司
粉体粉末冶金協会秋季大会、（2001.11.1）

「マイクロ波による透光性アルミナの焼結」
佐治他三郎、巻野勇喜雄、三宅正司
粉体粉末冶金協会秋季大会、（2001.11.1）

「ミラー閉じ込め型ECRプラズマスパッタリングによるペロブスカイト型チタン酸化物薄膜合成」
新納厚志、西永宗平、山田澄、馬場創、三宅正司
高温学会、秋季総合学術講演会、(2001.12.12)

「電磁エネルギー加熱による各種アルミナの焼結」
今村光宏、姜文圭、巻野勇喜雄、三宅正司
高温学会、秋季総合学術講演会、(2001.12.12)

「大電流通電過熱法によるアナターゼの緻密化と微細組織」
井野隆史、姜文圭、巻野勇喜雄、三宅正司
高温学会、秋季総合学術講演会、(2001.12.12)

「大出力28Ghzミリ波加熱法による窒化珪素の低温焼結」
上野敏之、巻野勇喜雄、三宅正司、斎藤英純、佐野三郎
高温学会、秋季学術講演会、(2001.12.12)

「イオン照射によるHfO2薄膜の構造変化」
森崇徳、三宅正司、藤原誠、田中武雄、
高温学会、秋季学術講演会、(2001.12.12)

2002年

「セラミックスのミリ波焼結特性・高純度アルミナを中心として」
巻野勇喜雄、三宅正司
セラミックス基礎討論会（2002.1）

「希土類酸化物助剤添加によるAlNのミリ波低温焼結」
吉岡尚志、巻野勇喜雄、三宅正司
セラミックス基礎討論会（2002.1）

「窒化アルミニウムのミリ波低温焼結」
吉岡尚志
粉体粉末冶金協会電磁プロセス委員会講演会、(2002.3.8)

「ECRスパッタリングBST薄膜のミリ波によるアニーリング効果」
新納厚志、三宅正司、馬場創、西永宗平、山田澄、沼田乾
第49回応用物理学関係連合講演会、(2002.3.27)

「ミリ波照射によるBi4Ti3O12薄膜の結晶化」
大塚隆、西川孝司、森田清之、吉岡尚志、三宅正司
第49回応用物理学関係連合講演会、(2002.3.29)

「イオンプロセスによる窒化炭素薄膜の形成(15)」
田中武雄、宮本芳文、大森勉、石原慶一、三宅正司
金属学会、春期大会、(2002.3.29)

「Yb2O3助剤添加AlNのミリ波焼結」
吉岡尚志、巻野勇喜雄、三宅正司
第19回希土類討論会（2002.5.23）

「窒化アルミニウムのミリ波焼結における助剤の比較」
吉岡尚志、巻野勇喜雄、三宅正司
粉体粉末冶金協会　平成14年度春季大会（2002.5.28）

「ECRスパッタリングによる高誘電率セラミックス薄膜の結晶性に対するミリ波照射効果（Ⅰ）」
松本　武、新納厚志、三宅　正司、馬場　創、西永　宗平
粉体粉末冶金協会　平成14年度春季大会（2002.5.28）

「ECRスパッタリングによる高誘電率セラミックス薄膜の結晶性に対するミリ波照射効果（Ⅱ）」
新納厚志、松本　武、三宅　正司、西永　宗平、馬場　創
粉体粉末冶金協会　平成14年度春季大会（2002.5.28）

「カレイドスコープによる矩形ビームを用いたフォーミング高出力半導体レーザによる厚鋼板のフォーミング(第3報)」
阿部信行、塚本雅裕、三宅正司、森川篤人、野口修一
高温学会春季総合学術講演会（2002.5.29）

「マルチ内部アンテナ方式を用いた誘導結合プラズマによる多結晶シリコン膜の形成」
山本直樹、馬場創、稲見宏、江部明憲、庄司多津男、節原裕一、三宅正司
高温学会春季総合学術講演会（2002.5.29）

「低インピーダンス内部アンテナを用いた誘導結合プラズマによる多結晶シリコン膜の形成」
稲見宏、江部明憲、馬場創、庄司多津男、節原裕一、三宅正司
高温学会春季総合学術講演会（2002.5.29）

「希土類酸化物添加窒化アルミニウムのミリ波加熱法における焼結挙動」
吉岡尚志、巻野勇喜雄、三宅正司
高温学会春季総合学術講演会（2002.5.29）

「ミリ波加熱法による高強度アルミナの合成」
巻野勇喜雄、三宅正司、佐野三郎、斎藤英純、姜文圭
高温学会春季総合学術講演会（2002.5.29）

「ECRスパッタリングによる(Ba,Sr)TiO3薄膜の結晶性に及ぼす基板温度およびバイアス効果」
新納厚志、松本武、馬場創、三宅正司
応用物理学会（2002.9.26）

「不揮発性メモリー用強誘電体SrBi2Ta2O9 薄膜に与えるマイクロ波アニーリングの影響」
松本　武、新納厚志、沼田　乾、齋藤英純、三宅　正司
応用物理学会（2002.9.26）

マルチ内部アンテナ方式大面積誘導結合型プラズマの生成
山本　直樹、馬場　創、稲実　宏、江部　明憲、三宅　正司、庄司　多津男、節原　裕一
応用物理学会（2002.9.26）

「ミリ波焼結による高熱伝導性窒化アルミニウムの作製」
吉岡尚志、巻野勇喜雄、三宅正司
粉体粉末冶金協会（2002.11.12）

「希土類酸化物添加窒化アルミニウムのミリ波焼結」
吉岡尚志、巻野勇喜雄、三宅正司
マイクロ波効果・応用国際シンポジウム（2002.11.21）

「還元雰囲気下における固相→液相遷移」
吉岡尚志、巻野勇喜雄、三宅正司
高温学会秋期総合学術講演会（2002.12.9）

「MOD法によるSrBi2Ta2O9強誘電体薄膜の低温合成」
松本　武、新納厚志、三宅正司
高温学会秋期総合学術講演会（2002.12.9）

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