大阪大学接合科学研究所　接合プロセス研究部門
エネルギー変換機構学分野　節原研究室

（工学研究科マテリアル生産科学専攻マテリアル科学コース協力講座）

−最新トピックス−

・2024/4/8 メンバーを更新

◎研究概要

　材料加工プロセスに介在する加工エネルギー源（プラズマ、粒子ビーム）から材料へのエネルギー変換ならびにエネルギー付与に伴う相互作用機序に関する研究を基軸に据えて、材料表界面の高機能化と高度制御に向けた基礎学理を追求すると共に、先進的な加工エネルギー源ならびにプロセス制御法の創成と診断評価を通じて、接合科学の高度化に資する基礎研究および応用技術開発ならびに人材育成を行っている。特に、次世代の科学・技術フロンティアを支える先進的表界面加工プロセスの創成を目指し、1）加工エネルギー源と材料との相互作用に関する機序解明を通じて、2）エネルギー変換・付与過程に着目した先進的材料加工プロセスの研究開発に加えて、3）プロセスの高度制御に有効な新しい加工エネルギー源の開発と応用に関する研究を展開している。

具体的には、独自のプラズマ生成・制御技術に基づき、次世代の平面ディスプレーや太陽電池をはじめとする大面積プロセスへの応用を念頭に置いて、低温かつ低ダメージでの高品位材料プロセスの実現に資する先進的な表界面制御プロセスに関する研究開発を推進している。また、プラズマ生成・制御に関する基礎的知見を大気圧非平衡プラズマに展開し、科学研究費補助金・新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」で培った放電制御技術に加えて、有機材料とプラズマとの相互作用に関する知見を礎に、有機−金属異種材料接合への応用に向けて、材料表界面の高度制御と高強度な接合技術の開発に資する研究を展開している。加えて、プラズマプロセスを駆使したナノ構造制御機能材創成、さらには脱炭素社会の実現に向けたプラズマ触媒反応系に関する研究に挑んでいる。

◎修士・博士課程の学生募集中！！

　節原研究室では修士・博士課程の学生を募集しています．　　

　プラズマに詳しい方も，そうでない方も，ぜひ一度研究室見学にお越しください．

　 修士論文テーマ　

　　　2023年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタ製膜法による酸化物半導体薄膜形成におけるターゲット電圧パルス波形制御に関する研究

　　　　・大気圧非平衡プラズマジェットを用いた有機材料と金属の異種材料接着技術の開発と機構解明

　　　2022年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング製膜法を用いた酸化ガリウム薄膜トランジスタ形成とプロセス制御に関する研究

　　　　・大気圧非平衡プラズマジェットを用いた金属とエンジニアリングプラスチックの異材接合技術の開発と接合機構解明に関する研究

　　　2021年度

　　　　・反応性プラズマプロセスによるフレキシブルデバイスのための酸化物半導体薄膜低温形成

　　　　・大気圧非平衡高周波プラズマジェットを用いた高機能プラスチック-金属接合技術の開発と機構解明

　　　 2020年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング製膜法を用いた酸窒化ガリウム薄膜形成に関する研究

　　　　・大気圧非平衡プラズマジェットを用いた金属―有機異種材料接合プロセスの制御因子に関する研究

　　　 2019年度

　　　　・プラズマ支援反応性プロセスの解析を通じた高移動度酸化物半導体薄膜トランジスタの低温形成に関する研究

　　　　・大気圧非平衡プラズマジェットを用いた金属−有機材料接合プロセスの開発

　　　 2018年度

　　　　・高移動度酸化物半導体薄膜トランジスタの大面積均一形成に向けたプラズマ支援反応性プロセスの開発

　　　　・大気圧非平衡プラズマジェットと有機分子含有水溶液との相互作用に関する研究

　　　 2017年度

　　　　・高移動度酸化物半導体薄膜の低温形成に向けた反応性プラズマプロセスに関する研究

　　　　・大気圧非平衡プラズマジェットとアミノ酸含有水溶液との相互作用に関する研究

　　　 2016年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング法による窒化物薄膜の低温形成に関する研究

　　　　・大気圧非平衡プラズマジェットによる液中活性種生成制御に関する研究

　　　 2015年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いた透明酸化物半導体薄膜形成におけるプロセス制御に関する研究

　　　　・活性種制御大気圧非平衡プラズマ源の開発に向けた気液界面での動的挙動解析

2014年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング法による酸化物半導体薄膜トランジスタの低温形成に向けたプロセス制御に関する研究

　　　　・大気圧誘電体バリア放電プラズマジェットの放電特性と動的挙動に関する研究

　　　 2013年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いたデバイス用薄膜形成プロセスの制御に関する研究

　　　　・大気圧放電プラズマの生成と有機材料との相互作用に関する研究

　　　 2012年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング法による酸化物半導体薄膜トランジスタの低温形成に関する研究

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング法を用いたシリコン系薄膜形成におけるプロセス制御と長尺化に関する研究

　　　 2011年度

　　　　・プラズマ支援反応性スパッタリング法による透明酸化物半導体薄膜の低温形成プロセスに関する研究

　　　 2010年度

　　　　・高密度プラズマを用いた酸化亜鉛薄膜の低温形成に関する研究

　　　 2009年度

　　　　・高密度プラズマ支援反応性物理蒸着法によるシリコン薄膜形成プロセスに関する研究

　　　 2008年度

　　　　・有機無機ハイブリッド材の先進加工プロセスに向けたプラズマとポリマーとの相互作用に関する基礎研究

　　　　・高周波誘導結合型ミスト混合プラズマを用いたナノ粒子製膜

　　　　・液中ならびに気液界面でのプラズマ生成法の開発

　　　 2007年度

　　　　・大面積ハイブリッドプラズマスパッタ製膜法ならびにプロセス解析手法の開発

　　　　・マルチ低インダクタンスアンテナを用いた大口径誘導結合型プラズマの特性評価　　

　

※研究室見学は随時受け付けておりますので，下記までご連絡ください．

　

　

◎連絡先

　大阪大学接合科学研究所加工システム研究部門
　エネルギー変換機構学分野　節原研究室

　所在地
　〒567-0047 大阪府茨木市美穂が丘11番1号 大阪大学接合科学研究所

　電話/FAX
　06-6879-8641/06-6879-8641 （節原教授室：本館407/408号室）

　

　

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