第24回プラズマプロセシング研究会

第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24)実行委員会

	応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会担当幹事
	畠山力三（東北大､幹事長）､　節原裕一（阪大､副幹事長）､佐野紀彰（兵庫県立大）吉村　智（阪大）､　米倉和賢（ルネサステクノロジー）､辰巳哲也（ソニー）､　中村圭二（中部大）菅原広剛（北大）､　中石雅文（富士通）､中川秀夫（松下電器）､中村敏浩（京大）
	現地実行委員会
	節原裕一（阪大､現地実行委員長）､　大森達夫（三菱電機）､　奥村智洋（松下電器）林　　司（日新電機）､　川田博昭（大阪府立大）､　高橋和生（京都工芸繊維大）､押鐘　寧（阪大）藤原康文（阪大）､　浜口智志（阪大）､　岡田成文（阪大）､坂和洋一（阪大）､　竹中弘祐（阪大）

開催趣旨

プラズマプロセシング研究会は、（社）応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会主催で、毎年1月下旬に開催され、今回で第24回目を迎えます。プロセシングプラズマの物理的・化学的基礎科学の解明、およびその制御と応用技術の開発をテーマに掲げ、プラズマ物理・プラズマ化学の研究者をはじめとして、原子・分子物理、薄膜・表面の物理・化学、電子工学など多分野の研究者が一堂に会して、プラズマを接点とする境界分野の成果発表・討論を行うと共に、新たな問題点の発掘や、新しいプロセシングの可能性を追求することを目的としています。

第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24)実行委員会

参加費：（個人資格､プロシーディングス代を含む）
事前参加申込み期限2006年12月4日（月）まで

	プラズマエレクトロニクス分科会会員（応用物理学会会員）	プラズマエレクトロニクス分科会会員（応用物理学会非会員）	応用物理学会会員協賛学協会会員	その他
一　般	12,000 円	15,000 円	15,000 円	18,000 円
学　生	3,000 円	5,000 円	5,000 円	7,000 円

※ただし､事前参加申込み期限【2006 年12 月4 日（月）】以降は､一般2,000 円増､学生1,000 円増。

招待講演

・特別講演

　　「プラズマエレクトロニクスの新しい展開に向けて」
　　　菅井秀郎氏（名古屋大学工学研究科・教授）

　　「有機発光デバイスの現状と展望」
　　　城戸淳二氏（山形大学工学部・教授）

・指定テーマ講演

　　「プラズマ分光－現状と展望－」
　　　　藤本　孝氏（京都大学・名誉教授）

　　「酸化物の原子制御エピタキシーと機能開発」
　　　　川崎雅司氏（東北大学金属材料研究所・教授）

一般講演（口頭発表またはポスター発表）

１）プロセシングプラズマの発生・制御
２）プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
３）プロセシングプラズマにおける素過程・モデリング
４）プラズマによるエッチング（ゲートスタック､ダマシン､MEMS など）
５）プラズマによる薄膜形成
　　（絶縁体､導電体､半導体､金属､Low-k､ High-k､配線材料､透明導電膜など）
６）プラズマによる表面改質（酸化､窒化､イオン注入､クリーニングなど）
７）大気圧・マイクロプラズマの基礎と応用
８）プラズマ応用技術
　　8-1）ナノテクノロジー（ナノ構造物質［炭素系､窒化物系］､ナノ粒子など）
　　8-2）バイオテクノロジー（バイオチップ､殺菌・滅菌など）
　　8-3）環境応用
　　8-4）光応用・発光デバイス用プラズマ
　　8-5）フラットパネルディスプレー・ジャイアントエレクトロニクス
９）上記以外のプラズマプロセシング

懇親会

日時：2007年1月29日(月） 18:30 ～ 20:30､（会場等は､後日､本Web サイトに掲載）

お申し込み

SPP-24の講演・参加申込み，プロシーディングス原稿の作成・送付方法等については，
講演申込み，参加申込み，あるいはプロシーディングの項目をご覧ください。

支払い方法 (参加費、懇親会費)

＊銀行振込によるお支払いを、2007年1月12日(金)まで受け付けます。
＊上記の銀行振り込み締め切り後のお支払いは、会場にて現金で御願い致します。
＊事前申し込みは、2006年12月4日までです。