１）プロセシングプラズマの発生・制御
２）プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
３）プロセシングプラズマにおける素過程・モデリング
４）プラズマによるエッチング（ゲートスタック､ダマシン､MEMS など）
５）プラズマによる薄膜形成
（絶縁体､導電体､半導体､金属､Low-k､ High-k､配線材料､透明導電膜など）
６）プラズマによる表面改質（酸化､窒化､イオン注入､クリーニングなど）
７）大気圧・マイクロプラズマの基礎と応用
８）プラズマ応用技術
8-1）ナノテクノロジー（ナノ構造物質［炭素系､窒化物系］､ナノ粒子など）
8-2）バイオテクノロジー（バイオチップ､殺菌・滅菌など）
8-3）環境応用
8-4）光応用・発光デバイス用プラズマ
8-5）フラットパネルディスプレー・ジャイアントエレクトロニクス
９）上記以外のプラズマプロセシング
