Technical Expert Division
大阪大学接合科学研究所技術部
Joining and Welding Research Institute Osaka University
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イオンビーム複合機能材創製装置
型 式
:
E93-0674
メーカー
:
日新イオン機器
設置場所
:
共通研究棟 107号室
:
仕 様
:
成膜速度1000Å/min以上(管理はエネルギー変換機構学分野)