![]() |
Technical Expert Division |
|
大阪大学接合科学研究所技術部 |
||
Joining and Welding Research Institute Osaka University |
自動X線マイクロアナライザシステム |
---|
|
型 式 | : | JXA-8530F | |
メーカー | : | 日本電子 | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 112号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | 試料に電子線を照射することにより放出される特性X線を分析することで、元素の定性、定量、面、線分析などを行い、試料表面の組成状態を知ることができる 装置は波長分散型でフィールドエミッションタイプの電子銃を採用しているため微小領域の観察・分析が可能 |
||
イオンスパッタコーター |
---|
|
型 式 | : | MSP-1S | |
メーカー | : | 真空デバイス | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 112号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | 全自動イオンスパッタコーター、Au-Pdターゲット装着中 | ||
真空蒸着装置 |
---|
|
型 式 | : | JEE-420T | |
メーカー | : | 日本電子 | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 112号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | Auターゲット装着中 | ||
超深度表面形状測定装置 |
---|
|
型 式 | : | VK-8550 | |
メーカー | : | キーエンス | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 111号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | 高さ測定範囲:最大7mm,高さ方向最小測定分解能0.01um | ||
マイクロビッカース硬度試験装置 |
---|
|
型 式 | : | HM-221 | |
メーカー | : | ミツトヨ | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 111号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | 硬度(自動)計測機能あり、試験力範囲:0.05gf〜2000gf | ||
硬さ自動試験システム |
---|
|
型 式 | : | AAV-502 | |
メーカー | : | アカシ | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 111号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | 硬度(自動)計測機能あり、試験力範囲:0.5gf〜2000gf | ||
表面粗さ測定機 |
---|
|
型 式 | : | サーフコム1400D | |
メーカー | : | 東京精密 | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 111号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | 検出器:先端半径2μmダイヤモンドスタイラス 測定力:0.75mN、 分解能:X軸0.1μm、Z軸0.0004μm |
||
マイクロX線回折装置 |
---|
|
型 式 | : | D8 DISCOVER | |
メーカー | : | ブルカー・エイエックスエス | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 108号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | サンプルサイズ:数mm×数mmから50mm×50mm 程度 X線照射サイズ:30 μm 〜 1000 μm 用途:サンプル上の微小領域に対する結晶相測定 |
||
試料水平型X線回折装置 |
---|
|
型 式 | : | UltimaIV/rs | |
メーカー | : | リガク | ||
設置場所 | : | 共通研究棟 108号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | 汎用のX線回折装置 | ||
顕微レーザラマン分光装置 |
---|
|
型 式 | : | ARAMIS LabSpec5 | |
メーカー | : | 堀場製作所 | ||
設置場所 | : | 連携研究棟 実験室2 | ||
: | ||||
仕 様 | : | UV〜NIRまで4種のレーザー(325,532,633,785nm)を装備 LabSpecソフトウェアにより高機能な分析が可能 |
||
走査型電子顕微鏡 |
---|
|
型 式 | : | SU-70 | |
メーカー | : | 日立ハイテクノロジーズ | ||
設置場所 | : | 連携研究棟 実験室2 | ||
: | ||||
仕 様 | : | ZrO/Wショットキーエミッション形電子銃 最大分解能1.0nm、 観察倍率×30〜800000倍 オックスフォード社製EDS/WDS付 |
||
3次元微細組織解析装置 |
---|
|
型 式 | : | NB-5000 | |
メーカー | : | 日立ハイテクノロジーズ | ||
設置場所 | : | 連携研究棟 9101号室 | ||
: | ||||
仕 様 | : | TSL製EBSDを付属 FIB加工により所望の断面組織を形成し、FE-SEM像、EBSD像を取得可能 3次元SEM像の取得は自動、3次元EBSD像は手動、試験片サイズに制約あり |
||
走査型電子顕微鏡(EBSP付、Wガン) |
---|
|
型 式 | : | JSM-6400 | |
メーカー | : | 日本電子 | ||
設置場所 | : | スマートプロセス研究センター1号館 2階 | ||
: | ||||
仕 様 | : | タングステンフィラメントのSEM 堅牢で維持費も安価である 比較的低倍率のEBSD測定に向いており、EDSも付属する |
||