Technical Expert Division
大阪大学接合科学研究所技術部
Joining and Welding Research Institute Osaka University
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お知らせ
イオンビーム複合機能材創製装置
型     式 ： E93-0674
メーカー ： 日新イオン機器
設置場所 ： 共通研究棟　107号室

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仕     様 ： 成膜速度1000Å/min以上（管理はエネルギー変換機構学分野）