材料加工プロセスにおける加工エネルギー源（プラズマ、粒子ビーム）と材料との相互作用機序ならびにエネルギー変換付与機構を基軸に据えて、材料表界面の高機能化と高度制御に向けた基礎学理を追求するとともに、先進的な加工エネルギー源ならびにプロセス制御法の創成と診断評価を通じて、接合科学の高度化に資する基礎研究および応用技術開発を行っている。
特に、独自のプラズマ生成制御技術を活用して、高性能薄膜トランジスタの低温形成と大面積・低ダメージプロセスの実現に向けた先進的プラズマプロセスに関する研究を展開している。さらに、革新的医療用プラズマ源をはじめとする放電の高度時空間制御に関する系統的研究で培った知見に基づき、先進的プロセス（異種材料接合、ミストCVD、メタネーション等）の実現に向けた研究を展開している。

低インダクタンスアンテナを用いた低ダメージ高密度プラズマ生成と３メートル級大型基板対応プラズマ源の設計例

革新的医療用プラズマ源の開拓
（ａ）大気圧高周波プラズマの高速度カメラ写真
（ｂ）放電開始電圧の放電励起周波数依存性
（ｃ）酸素原子発光強度の放電励起周波数依存性

メンバー

教授

節原 裕一

准教授

竹中 弘祐

助教

都甲 将