研究分野

 材料加工プロセスにおける加工エネルギー源(プラズマ、粒子ビーム)と材料との相互作用機序ならびにエネルギー変換付与機構を基軸に据えて、材料表界面の高機能化と高度制御に向けた基礎学理を追求するとともに、先進的な加工エネルギー源ならびにプロセス制御法の創成と診断評価を通じて、接合科学の高度化に資する基礎研究および応用技術開発を行っている。

 特に、独自のプラズマ生成制御技術を活用して、メートル級の超大面積プラズマ源の開発ならびに機能性材料の低温かつ低ダメージでの高品位プロセスの実現に資する先進的な表界面制御プロセスの開発に関する研究を展開している。

 さらに、放電の高度時空間制御ならびに生体分子との相互作用の解明に基づく系統的研究により、生体適合性に優れた革新的医療用プラズマ源の開拓に向けた研究を展開している。

教授
節原 裕一
特任教授
斧 髙一
准教授
内田 儀一郎
助教
竹中 弘祐
   

研究テーマ

  1. プラズマー材料相互作用の解明と先進的な表界面制御プロセスの研究
  2. 新しいプラズマ源、粒子ビーム源の開発と高度プロセス技術(CVD、PVD)の研究
  3. 大面積・低ダメージ・高密度プラズマ源の開発と先進的プロセス制御技術の開発
  4. 無機/有機ハイブリッドデバイス創製に向けたソフトマテリアルプロセス科学の開拓と
    先進的グリーンナノテクノロジーの開発
  5. 生体適合性に優れた革新的医療用プラズマ源の開拓

低インダクタンスアンテナを用いた低ダメージ高密度プラズマ生成と3メートル級大型基板対応プラズマ源の設計例

革新的医療用プラズマ源の開拓
(a)大気圧高周波プラズマの高速度カメラ写真
(b)放電開始電圧の放電励起周波数依存性
(c)酸素原子発光強度の放電励起周波数依存性
 
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